Memory device having wide area phase change element and small electrode ...

o o o o o o a a c a o o o o o o o a a a a o o o o co
c c a a a o c c o c Q c c a a a o c c o 0 c c a o aa
o 0 c 0 o o o o o o o o c c c o co

FIG. 2

’,- 30 [315 K326

00000
ocaaa

n n n Q n n n n n n n n n n n n n n n on

\~ I M 4

FIG. 3

Q O 4
0 0
O O 4
O O
O O 4
O O
O O 4
O O
0 0 4
0 O
0 0 4
O 0
0 0 4
O O
O 0 4
O O
O O 4
O 0
O 0 4
O 0
O 0 4
O 0
Q O 4
O 0
O O 4
O O
O O 4
O O
0 0 4
O O
0 0 4
O
O 4
O
0 4
O
O 4
O
O 4
0
O 4
O 0
O 4
O 0
Q Q

IIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIJ X X 2 O ?§?“ I- ;6:6,6 > .O§‘6 ’ 6%% ’ 6'6% ‘ 6%% ’ 6%% > .6.6‘6 ’ 6%% ’ 6'6% '6 %% '6 %% 5 0.00 ’6 %% > 6 e336 ' 6%% > ‘.6; > ,6,6,6 > 6 3'3’? "X/ 7 1 ~41; 6%‘ 6:6 3% 6% 6%‘ 6% 6 la O~

Q
+ :
* 6
* 6
‘ 6
* 6
* 6
* 6
* 6
‘ 6
' 6
* 6
* 6
* 6
‘ 6
' 6
* 6
* 6
8 6
‘.090 : 6
6‘6‘6%‘ 6 '
3636666666
§§66¢6QO
0.0044000
O‘O00OOQ§
§‘OOOOOOO
¢§OO6¢¢O
63666666

Q.OO§§Q

0 O e O O
O O 0 O O
O 0 0 (~
D O e O O D O

G. 8

Q Q Q M A
_ 0000
,6u6u6n6u6u6u6w6u6n6u6u6u6w6n6u6u6u <6<6<6<6<6<6<6<6<6<6<6<u< Te

O v 666 . 6 6 ////lir///I////I/A//Ill; » nu» e

W626§666666&666666&666666?666666666%6
66”.§666666$666666$666666€666666nu““"66 6
> 6.666“ 66666
66 66666
/6 66666666 6
.. 66666666
O
O
O
C C
O n
O O
O G O
O O

o u\\\ H I
3.. \ 2 F
.....6” .\
66666666666 666 .060
6\66666w666 u6u6 e e

3. 6

_. < 6» 00

6 666666666666666 66 O O

OOQOOO
.~:::-:=:~:=:
§§§OO9
O G O O
E9

666 cane
6
O

666666666666 6 666 6%66666666%66666666%66666666%666 6 6% a <66 66666666666666666666666 »6u6u 66»6 we 6

320

320

is

646“4$46164$46161%46461<q64616<q646<O<q6
Q
I 6 6666666666666666666666666
VA//£6»!///I/A//I/A////AA
\\

I
6
6
6
6
6
6
6
6
6
: 6
: 6
3 6
‘:‘6‘ 6
%’6%
%%*6%
%‘6*6%
%*6*6%
%‘6‘6'6
'6'6‘6‘6
6666
6%‘6‘6'
%‘6‘6'
%666

\\\\. 6 66

O0
O0
O6
O66

'66

0.0‘ 66‘6%% ,616:6%66 6,6,66666 6666666 $333333 %%%‘6%%6 %%%*6*6%6

\w\\\v» .m .. ..

g I
”'Elp!IEEl-EIAVEJEEIEJEEIE .6
.. .~M.<...<~§ w-.<»»“~“w~»~»»»aw-.<..».
&&mmaA%mmam&mmma&ww. 6
6OWOWOW6w6m -wOwOW646w6wOwOW6w6>6>PO O6

IIIII
6
6
6

Q .
!6!6:6:6:6:‘
i'6'6*‘6‘e‘~
’6%%%‘6'6
’6%%%‘6%

‘6%%%*6%

‘O36?!-‘:9;

,6;6;6{6'6'6
6

’%‘%66

-66666

O
O
§
6
O

VIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIII

00¢

.00

con

.00
000
.00
0

.99
oo
.0
00¢
.00
con
.00
can
.00
con
.00

con .00

720 722 712 723 720 722 712

Q
1333
.
\\*e.1me., \Y,~\\\‘I\**,§\\EY.\\‘*E‘~.\,
l
13/ \12
FIG. 9